到底是造原子弹难、还是造一台EUV光刻机更难？

比病毒还小的晶体管，还不能有丝毫抖动，这怎么可能做得到？常年考试不及格的我做不到，但荷兰的阿斯麦却做到了。

他们利用特定波长的光线，透过刻有电路图的掩模板，再通过光学透镜缩小，投影到涂有光刻胶的硅片上进行曝光。这里头的难点在于，光刻机产生出的极紫外光会被所有材料吸收，无法使用传统的透镜，必须采用由硅和钼交替铺成的多层镀膜反射镜来折射和聚焦光线。

好在，德国有这么一家公司可以打造出来，它就是蔡司。它为光刻机打造了人类有史以来最光滑的镜面系统。这些镜子有多光滑？打个比方，如果把其中一块镜子放大到整个德国那么大，那么地表最高凸起不会超过短短的一厘米。

当然，就算你造出了世界上最平的镜子，还必须要创造一个绝对理想的环境。因为一块芯片需要经过几十次光刻，而每次光刻的图案都必须与之前的图层完美对齐，那么一个稳如泰山的工作台尤为关键。

为了达到这种效果，整个光刻机内部不仅是真空，而且是放在一个巨大的、与世隔绝的混凝土基座上。这样承载硅片的工件台，便可放心地以极高的速度进行纳米级精度的运动，步进既稳定又精准。

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